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PID控制算法简单、鲁棒性好、可靠性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。PID控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态跟踪；微分作用可以改善系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置PID控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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选用的是以结实着称的inficon536热电阻规管，测量范围1E-3mbar(0.1Pa)-大气压力，该规管是全金属外壳，根据粗大的可以热插拔的针角联接控制板。规管可以独立更换，您还可以用一个控制板去测安裝在不一样部位的好几个规管的读值。套服包括的规管为KF25插口，您还能够此外购置其他插口的规管，很重要的是，inficon536规管十分的划算。

迷你型手提式塑料收纳箱

套服还包含一个带绵软基础垫层的手提式塑料收纳箱，便捷运送、带上，十分。

企业专注于工控自动化仪表设备的产品研发，建立了具备现在企业管理基础知识知识和工作经验的合理运营管理团队，技术革新观念强，高度重视产品的技术研发与资金投入，为公司发展给予了较好的保证基本。在智能化的繁杂生产线中。应用inficon可以显着操纵和配电设备所采用的电缆线，节约电缆线的成本费，且大大的走线和今后维护保养作业的劳动量。

他经过详细介绍inficon电缆线、inficonIEField线缆、inficonIEControl光缆电缆的优点特性等，共享了一部分具体运用实例。现阶段TSN交换机等产品也已经如火如荼产品研发中。谱拓应用工程师详细介绍了其几个产品系列产品，包含FS系列产品一体式控制模块、FS1系列产品一体式快接控制模块、EX系列产品插旋片控制模块及其SV系列产品系统总线阀岛。

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真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

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